半導體測試解決方案專業(yè)品牌蔚華科技(TWSE: 3055)攜手旗下數(shù)字光學品牌南方科技，共同推出業(yè)界首創(chuàng)的JadeSiC-NK非破壞性缺陷檢測系統(tǒng)，采用先進非線性光學技術(shù)對SiC襯底進行全片掃描，找出襯底內(nèi)部的致命性晶體缺陷，用以取代現(xiàn)行高成本的破壞性KOH(氫氧化鉀)蝕刻檢測方式，可提升產(chǎn)量并有助于改善制程。若以每個SiC晶錠需蝕刻2片襯底來計算，JadeSiC-NK可為具有100個長晶爐的襯底廠省下每年5600萬因蝕刻而損耗的成本。

蔚華科技與旗下南方科技發(fā)表業(yè)界首創(chuàng)非破壞性SiC缺陷檢測系統(tǒng)，搶攻第三代半導體檢測分析市場

需求迅速爆發(fā)SiC襯底與組件供不應求 唯KOH是高成本痛點

在現(xiàn)今環(huán)境永續(xù)意識抬頭的全球趨勢下，許多國家已制定電動車的階段性政策目標，SiC芯片需求迅速爆發(fā)，尤其用于生產(chǎn)電動汽車使用的耐高溫高壓SiC功率半導體組件，供給量遠遠不及需求。

第三代半導體的襯底材料質(zhì)量決定下游芯片的可靠度及性能優(yōu)劣，但SiC長晶速度較慢，且襯底晶體缺陷只能以破壞性的KOH蝕刻方式進行抽樣檢測，使得SiC芯片制程成本居高不下，目前全球主要襯底廠皆積極投資產(chǎn)能擴充并改善制程，加速產(chǎn)業(yè)布局以搶攻市占率。襯底廠與組件廠若能在制程中對材料做全面非破壞性檢測，不僅可減少原本KOH蝕刻的有害化學溶液使用量，更能及早發(fā)現(xiàn)問題，進而有效改善制程、提升良率，進而在第三代半導體市場中展現(xiàn)絕佳優(yōu)勢。

JadeSiC-NK以非線性光學檢測取代現(xiàn)行破壞性KOH蝕刻 可降低成本提高產(chǎn)能

南方科技總經(jīng)理王嘉業(yè)表示，目前市場上的光學技術(shù)只能檢測表面非晶體缺陷，JadeSiC-NK系統(tǒng)采用先進的非線性光學技術(shù)，可對全片襯底表面到特定深度進行掃描，反應晶體結(jié)構(gòu)信息，提供晶體缺陷密度及其分布狀況，讓客戶有效掌握襯底質(zhì)量，未來生產(chǎn)出的組件質(zhì)量與效能也能更加穩(wěn)定。

王嘉業(yè)進一步說明，JadeSiC-NK非破壞性缺陷檢測系統(tǒng)專注在穩(wěn)定且有效地找出襯底中的致命性晶體缺陷(BPD, TSD, MicroPipe, Stacking Fault)，相較現(xiàn)行將SiC晶錠切片后取上下二片襯底進行檢測的KOH蝕刻方式，可大幅節(jié)省檢測時間與襯底成本。以每個長晶爐每月產(chǎn)出四個晶錠為例，采用JadeSiC-NK后，每個晶錠可省下二片襯底成本(每片6寸襯底以800美元計)，因此可推估一個長晶爐每年可省下人民幣56萬元，若是具有100個長晶爐的襯底廠，一年即可省下人民幣5600萬元!此外，JadeSiC-NK也可針對同一個晶錠進行100%的晶圓檢查，進行詳細的晶錠分析和批次追踨分析，協(xié)助客戶在高技術(shù)門檻的第三代半導體市場加速制程及產(chǎn)量優(yōu)化。

陽明交通大學光電工程學系講座教授郭浩中表示，蔚華與南方科技推出的JadeSiC-NK系統(tǒng)，將非線性光學技術(shù)應用在第三代半導體的檢測分析，有助突破目前業(yè)界在量產(chǎn)及制程改善的技術(shù)瓶頸，對于產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展提供極大推力，期盼此系統(tǒng)能以更有效更穩(wěn)定的檢測方法，建立業(yè)界SiC襯底檢測標準，成為產(chǎn)業(yè)界非線性光學技術(shù)的領(lǐng)航品牌，引領(lǐng)市場應用持續(xù)創(chuàng)新及突破。

從設備代理到自有產(chǎn)品 跨足光學檢測領(lǐng)域 蔚華科技前景可期

蔚華科技總經(jīng)理楊燿州表示，考慮經(jīng)銷代理的不穩(wěn)定性及追求更好的獲利結(jié)構(gòu)，蔚華不斷加強投資自有產(chǎn)品開發(fā)以求推出更貼近客戶需求的解決方案，此次透過并購南方科技，加速自有產(chǎn)品的發(fā)展進程，讓蔚華從半導體封測設備跨足光學檢測，首先鎖定極具前景的第三代半導體材料缺陷檢測，對客戶、員工及投資人來說都將是非常振奮人心的新局。

楊燿州進一步指出，蔚華與南方科技自經(jīng)銷合作以來就秉持共同成長、互相成就的初心，成立先進光學材料檢測實驗室讓獨特的光學檢測技術(shù)更快進入業(yè)界應用，透過客戶的反復驗證，進而調(diào)整產(chǎn)品規(guī)格以滿足客戶需求。除了將非線性光學技術(shù)應用在本次推出的JadeSiC-NK外，未來也將加速將南方科技在MicroLED、超穎材料、硅光子等先進光學檢測技術(shù)的商業(yè)化，持續(xù)加大研發(fā)能量有效整合集團資源，發(fā)揮綜效。

光電科技工業(yè)協(xié)進會董事長邰中和則表示，非常樂見兩家臺灣企業(yè)透過互補雙贏的結(jié)合產(chǎn)生綜效，更為產(chǎn)業(yè)創(chuàng)造巨大價值。蔚華與南方科技推出的JadeSiC-NK系統(tǒng)是極具指針性的技術(shù)突破，不但對全球第三代半導體業(yè)來說是可以大幅降低成本并增加產(chǎn)能的革命性產(chǎn)品，更能讓全球看見蔚華與南方科技在光學領(lǐng)域的技術(shù)實力，在未來蓬勃發(fā)展的第三代半導體市場扮演關(guān)鍵角色。

關(guān)于蔚華科技

蔚華科技(股票代碼：3055)是大中華地區(qū)半導體封測解決方案專業(yè)品牌，擁有先進的全方位解決方案及產(chǎn)品，提供半導體各個制程與不同產(chǎn)品的測試、封裝、檢測、驗證等設備銷售、應用工程與客戶服務需求，合作伙伴包括NI, Osai, SEMICS, AFORE, ERS, Hamamatsu, ShibaSoku,Southport, TASMIT, TESCAN, Toray Engineering, Turbodynamics等全球多家半導體設備領(lǐng)導品牌。蔚華集團以專業(yè)分工，提供半導體、電子制造、通訊及車用電子等科技產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量的整合解決方案。蔚華科技成立于1987年，總部位于臺灣新竹，于上海、蘇州、深圳、成都、高雄皆有服務據(jù)點。

關(guān)于南方科技

南方科技成立于2014年8月，創(chuàng)辦團隊集合了光學、材料、物理、信息等跨領(lǐng)域人才，將新穎的光學設計觀念導入光學工程領(lǐng)域。透過先進光學簡單化、模塊化、數(shù)字化的核心理念(光學模塊化、數(shù)字化、軟件化的核心理念，讓艱深的光學運用更為友善及簡單)，使研究人員專注在研究開發(fā)工作，改善實驗設計觀念、提升研究效率、縮短研發(fā)時程、揮灑研發(fā)創(chuàng)意，加速研究與產(chǎn)業(yè)技術(shù)發(fā)展的進程。南方科技以『5D顯微術(shù)』與『數(shù)字光學』兩大核心技術(shù)為基礎，將嶄新的光學觀念與技術(shù)導入先進材料分析、生醫(yī)影像、顯微3D光學檢測與數(shù)字光學應用四大應用領(lǐng)域。在不同的應用領(lǐng)域，南方致力于研發(fā)與創(chuàng)新，深入了解行業(yè)痛點并且專注解決關(guān)鍵問題。

(新媒體責編：wa12)